Semicorex هو اسم موثوق به في صناعة أشباه الموصلات ، حيث يوفر MOCVD Planet Susceptor عالي الجودة لأشباه الموصلات. تم تصميم منتجنا لتلبية الاحتياجات المحددة لمصنعي أشباه الموصلات الذين يبحثون عن ناقل يمكنه تقديم أداء واستقرار ومتانة ممتازة. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن منتجاتنا وكيف يمكننا مساعدتك في تلبية احتياجات تصنيع أشباه الموصلات.
يتميز MOCVD Planet Susceptor لأشباه الموصلات بمقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مما يضمن ثباته في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. إنه أيضًا نقي للغاية ، مصنوع من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية ، مما يضمن توحيد واتساق المنتج ، وحتى الشكل الحراري ونمط تدفق الغاز الرقائقي.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن MOCVD Planet Susceptor لأشباه الموصلات.
معلمات MOCVD Planet Susceptor لأشباه الموصلات
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حساس الجرافيت المطلي SiC لـ MOCVD
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب