تعتبر حاملات الويفر Semicorex MOCVD لصناعة أشباه الموصلات من أفضل الناقلات المصممة للاستخدام في صناعة أشباه الموصلات. تضمن مادتها عالية النقاء مظهرًا حراريًا متساويًا ونمط تدفق الغاز الرقائقي، مما يوفر رقائق عالية الجودة.
تتميز حاملات الرقاقة MOCVD الخاصة بنا لصناعة أشباه الموصلات بأنها نقية للغاية، ويتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية، مما يضمن توحيد المنتج واتساقه. كما أنها مقاومة للغاية للتآكل، مع سطح كثيف وجزيئات دقيقة، مما يجعلها مقاومة للأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية. تضمن مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية الثبات عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حاملات الرقاقة MOCVD لصناعة أشباه الموصلات.
معلمات حاملات الرقاقة MOCVD لصناعة أشباه الموصلات
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات جهاز امتصاص الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD
- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب