إن حوامل قاعدة الجرافيت المطلية بـ Semicorex SiC لـ MOCVD هي ناقلات عالية الجودة تستخدم في صناعة أشباه الموصلات. تم تصميم منتجنا باستخدام كربيد السيليكون عالي الجودة الذي يوفر أداءً ممتازًا ومتانة طويلة الأمد. يعتبر هذا الحامل مثاليًا للاستخدام في عملية تنمية الطبقة الفوقية على شريحة الويفر.
تتميز أدوات امتصاص قاعدة الجرافيت المطلية بـ SiC الخاصة بـ MOCVD بمقاومة عالية للحرارة والتآكل مما يضمن استقرارًا كبيرًا حتى في البيئات القاسية.
إن ميزات محفزات قاعدة الجرافيت المطلية بـ SiC لـ MOCVD رائعة. وهو مصنوع من طلاء كربيد السيليكون عالي النقاء على الجرافيت، مما يجعله مقاومًا للغاية للأكسدة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. تضمن عملية ترسيب البخار الكيميائي CVD المستخدمة في تصنيعها درجة نقاء عالية ومقاومة ممتازة للتآكل. سطح الناقل كثيف، مع جزيئات دقيقة تعزز مقاومته للتآكل، مما يجعله مقاومًا للأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
تضمن أدوات امتصاص قاعدة الجرافيت المطلية بـ SiC الخاصة بـ MOCVD ملفًا حراريًا متساويًا، مما يضمن أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي. فهو يمنع أي تلوث أو شوائب من الانتشار إلى الرقاقة، مما يجعلها مثالية للاستخدام في بيئات غرف الأبحاث. Semicorex هي شركة تصنيع وتوريد واسعة النطاق لـ SiC Coated Graphite Susceptor في الصين، ومنتجاتنا تتمتع بميزة سعرية جيدة. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في صناعة أشباه الموصلات.
معلمات محفزات قاعدة الجرافيت المطلية بـ SiC لـ MOCVD
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات جهاز امتصاص الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD
- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب