مستقبلات رقاقة الجرافيت المطلية بـ SiC

إن مستقبلات رقاقة الجرافيت المطلية بـ Semicorex SiC هي حاملات رقاقة الجرافيت التي لا غنى عنها والمغطاة بطبقة كثيفة وموحدة من CVD SiC، والتي تم تصميمها خصيصًا لأنظمة النمو الفوقي MOCVD لأشباه الموصلات المتطورة. إن اختيار Semicorex يعني أنه يمكنك الحصول على أسعار فعالة من حيث التكلفة وجودة منتج فائقة وتجربة خدمة يمكن الاعتماد عليها.

إرسال استفسار

وصف المنتج

الجرافيت المطلي بطبقة سيميكوريكس SiCمستقبلات الرقاقةهي المكونات على شكل قرص، وتستخدم على نطاق واسع في أنظمة MOCVD الدوارة لدعم وتسخين الرقائق. يمكنها تسهيل التوزيع الموحد للغاز والتوزيع المتسق للحرارة في غرف التفاعل، مما يوفر بيئة عملية مثالية للنمو الفوقي عالي الجودة وعالي الكفاءة. تعتبر مستقبِلات رقاقة الجرافيت المطلية بـ SiCorex مناسبة للتطبيقات التي تتطلب تجانسًا ممتازًا للأغشية الرقيقة، مثل تنضيد GaN على ركائز الياقوت.

خصائص مستقبلات رقاقة الجرافيت المطلية بـ SiCorex

تستخدم مستقبلات رقاقة الجرافيت المطلية بطبقة SiC من Semicorex الجرافيت عالي النقاء كمادة أساسية لها وترسب طبقة موحدة وكثيفة من كربيد السيليكون على قاعدتها عبر ترسيب البخار الكيميائي. من خلال الاستفادة من المواد الخام المتفوقة وتكنولوجيا الإنتاج المتقدمة، تمتلك رقائق الجرافيت المطلية بـ SiCorex الخصائص المتميزة التالية.

1. الاستقرار الحراري استثنائي

تعمل معدات MOCVD عادة عند درجات حرارة أعلى من 1000 درجة مئوية، مما يفرض متطلبات صارمة على أداء درجة الحرارة العالية للمكونات الداخلية. يمكن لمستشعرات رقاقة الجرافيت المطلية بطبقة SiC من Semicorex أن تتوافق بشكل جيد مع ظروف العمل القاسية هذه وتعمل بثبات حتى أثناء الخدمة ذات درجة الحرارة العالية على المدى الطويل. خالية من أرفف الطلاء أو الانفصال، يمكن لمستقبلات رقاقة الجرافيت المطلية بـ SiC من Semicorex أن تقضي بشكل كبير على خطر إطلاق الغاز والشوائب من قاعدة الجرافيت.

2. مقاومة قوية للتآكل

تتميز مستقبلات رقاقة الجرافيت المطلية بـ SiCorex بمقاومة فائقة للأكسدة ومقاومة التآكل أثناء درجات الحرارة العالية المعقدة وظروف التآكل القوي. هُمطلاء CVD SiCيمكن أن تمنع بشكل كبير قاعدتها من التآكل بواسطة غازات المعالجة مثل NH3 وH2، وتقليل إطلاق التلوث بالكربون، وبالتالي تحسين نقاء الأفلام الفوقي.

3. الموصلية الحرارية الممتازة

تتميز مستقبلات رقاقة الجرافيت المطلية بـ SiCorex بقدرة موثوقة على الإدارة الحرارية أثناء عمليات النمو الفوقي لأن قواعد الجرافيت وطلاءات CVD SiC تتمتع بموصلية حرارية ممتازة. يمكنها ضمان توزيع موحد للحرارة عبر رقائق الركيزة أثناء عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة، مما يؤدي إلى طبقات فوقية عالية الجودة.