حاملات الألواح المطلية بـ SiC لـ MOCVD

حاملات الألواح المطلية بـ Semicorex SiC لـ MOCVD هي حاملة عالية الجودة مصممة للاستخدام في عملية تصنيع أشباه الموصلات. إن نقائه العالي ومقاومته الممتازة للتآكل وحتى مظهره الحراري يجعله خيارًا ممتازًا لأولئك الذين يبحثون عن حامل يمكنه تحمل متطلبات عملية تصنيع أشباه الموصلات.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تتميز حوامل الألواح المطلية بـ SiC الخاصة بـ MOCVD بالنقاء العالي، مما يجعلها خيارًا ممتازًا لأولئك الذين يبحثون عن حامل موحد للغاية ومتسق في خصائصه.
إن حاملات الألواح المطلية بـ SiC الخاصة بنا لـ MOCVD مصنوعة من طلاء كربيد السيليكون عالي النقاء على الجرافيت، مما يجعلها شديدة المقاومة للأكسدة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. تضمن عملية ترسيب البخار الكيميائي CVD المستخدمة في تصنيعها درجة نقاء عالية ومقاومة ممتازة للتآكل. إنه مقاوم للغاية للتآكل، مع سطح كثيف وجزيئات دقيقة، مما يجعله مقاومًا للأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية. تضمن مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية الثبات عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية.

معلمات حاملات الألواح المطلية بـ SiC لـ MOCVD

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300

مميزات جهاز امتصاص الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD

- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب