حاملات الألواح المطلية بركب SiC من Semicorex لـ MOCVD هي حاملة عالية الجودة مصممة للاستخدام في عملية تصنيع أشباه الموصلات. إن نقائها العالي ومقاومتها الممتازة للتآكل وحتى المظهر الجانبي الحراري يجعلها خيارًا ممتازًا لمن يبحثون عن ناقل يمكنه تحمل متطلبات عملية تصنيع أشباه الموصلات.
تتميز حاملات الألواح المطلية بـ SiC لـ MOCVD بنقاوة عالية ، مما يجعلها خيارًا ممتازًا لأولئك الذين يبحثون عن حامل موحد للغاية ومتسق في خصائصه.
حاملات الألواح المطلية بـ SiC لـ MOCVD مصنوعة من طلاء كربيد السيليكون عالي النقاء على الجرافيت ، مما يجعله شديد المقاومة للأكسدة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. تضمن عملية ترسيب البخار الكيميائي CVD المستخدمة في تصنيعها درجة نقاء عالية ومقاومة ممتازة للتآكل. إنه شديد المقاومة للتآكل ، مع سطح كثيف وجزيئات دقيقة ، مما يجعله مقاومًا للأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية. تضمن مقاومته للأكسدة عند درجات الحرارة العالية الاستقرار في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية.
معلمات حاملات الألواح المطلية بـ SiC لـ MOCVD
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حساس الجرافيت المطلي SiC لـ MOCVD
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب