كربيد السيليكون الجرافيت الركيزة MOCVD Susceptor

يُعد MOCVD Susceptor الركيزة من كربيد السيليكون من Semicorex الخيار النهائي لمصنعي أشباه الموصلات الذين يبحثون عن ناقل عالي الجودة يمكنه تقديم أداء متفوق ومتانة. تضمن مادته المتقدمة المظهر الجانبي الحراري ونمط تدفق الغاز الرقائقي ، مما يوفر رقائق عالية الجودة.

إرسال استفسار

وصف المنتج

مستشعر MOCVD لركيزة الجرافيت من كربيد السيليكون لدينا نقي للغاية ، مصنوع من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية ، مما يضمن توحيد واتساق المنتج. كما أنه شديد المقاومة للتآكل ، مع سطح كثيف وجزيئات دقيقة ، مما يجعله مقاومًا للأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية. تضمن مقاومته للأكسدة عند درجات الحرارة العالية الاستقرار في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن عامل امتصاص كربيد السيليكون للجرافيت الركيزة MOCVD.

معلمات كربيد السيليكون الجرافيت الركيزة MOCVD Susceptor

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300

ميزات حساس الجرافيت المطلي SiC لـ MOCVD

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب