مستشعرات Semicorex لمفاعلات MOCVD هي منتجات عالية الجودة تستخدم في صناعة أشباه الموصلات لتطبيقات مختلفة مثل طبقات كربيد السيليكون وأشباه الموصلات epitaxy. يتوفر منتجنا في شكل ترس أو حلقة وهو مصمم لتحقيق مقاومة أكسدة لدرجات حرارة عالية ، مما يجعله مستقرًا عند درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية.
يتم تصنيع مستشعرات مفاعلات MOCVD الخاصة بنا عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية ، مما يضمن درجة نقاء عالية. سطح المنتج كثيف ، بجزيئات دقيقة وصلابة عالية ، مما يجعله مقاومًا للتآكل للأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية.
تم تصميم مستشعرات مفاعلات MOCVD الخاصة بنا لضمان الطلاء على جميع الأسطح ، وتجنب التقشر ، وتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي. يضمن المنتج توازن المظهر الحراري ويمنع أي تلوث أو انتشار للشوائب أثناء العملية ، مما يضمن نتائج عالية الجودة.
في Semicorex ، نعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولاً فعالة من حيث التكلفة. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات المستجيبات لمفاعلات MOCVD
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حساس الجرافيت المطلي SiC لـ MOCVD
- تجنب التقشير والتأكد من وجود طلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب